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第390章 那些光刻机的往事

  沙瑞勒·内维尔喝着手里拿着的咖啡,看着电脑新闻网站,最近那闹的沸沸扬扬的到底谁抄了谁的新闻.
  摇了摇头,笑着把电脑上相关的网页全都关闭了。
  这东西,谁抄谁有什么好争的,谁先生产出来,谁先申请专利,那就是谁的,国际上不都是这么操作的吗?这些媒体也无聊,这东西也有什么值得争的?
  从视频上来看,那个华国的骗子不就随便弄了点软件在电脑上运行了一下而已,而这边米国的腰子科技公司,连样品都拿出来了,要知道,两个月不到的时间可不能把那些说出来的科技与系统上的设想完善,这么一对比。
  那谁抄谁的不是一目了然吗?
  再说了,华国有这种科技实力,研发这么高级的东西吗?
  他们不一直喜欢偷买一些别人家的产品,把上面的logo打磨掉冒充自家的产品吗?
  “哼——”
  还是自家的产品好——光刻机。
  这种高端的东西,就算华国的那些垃圾如何想来碰瓷都不行,这就是人类历史最顶级的科技与技术,让那些想碰瓷垃圾感到绝望。
  沙瑞勒·内维尔他是a斯麦公司,下一代产品的项目总工程师。
  得益于,湾积电一个叫做林奔坚的鬼才工程师出现了,让a斯麦押注的沉浸式光刻机成功的使得原有的193nm激光经过折射,直接越过了157nm的天堑,降低到132nm。
  把原本世界上的光刻机霸主,樱花的n康与j能踩在了脚下。
  当然,如今几者差距还不算大。
  a斯麦,还在小心翼翼,加大科研的投入。
  想要把这个差距扩大。
  扩大到让全世界都死心的地步。
  为此,这家公司,受到了全欧洲最大的科研经费的投入。
  如今的人均科研经费甚至排在了全欧洲第二位,远高于其他企业,甚至是军工企业。
  从这点上便可以看出,整个欧美对这项技术的支持。
  不过想起了,樱花。
  沙瑞勒·内维尔也只是微微的为他们惋惜了一阵而已。
  身为项目内的人员,他更清楚这些年因为光刻机,欧米这边所干的阴暗往事。
  其实,造成如今这一切的并不止是简简单单两千年初踏错了干刻湿刻之分。
  更像是一场有预谋的阴谋。
  早于1997年,在米国政府一手干预下,尼康被euvllc排挤在外时,这已经注定了如今光刻机市场a斯麦一家独大的结局。
  前面提到,当年为了尝试突破193nm,英特尔更倾向于激进的euv方案,于是早在1997年,欧米那边就联合起来成了了一个叫euvllc的联盟。
  联盟中的名字个个如雷贯耳:除了y特尔和牵头的m国能源部以外,还有m托罗拉、amd、ibm,以及能源部下属三大国家实验室:l伦斯利弗莫尔国家实验室、s迪亚国家实验室和l伦斯伯克利实验室。
  这些实验室是米国科技发展的幕后英雄,之前的研究成果覆盖物理、化学、制造业、半导体产业的各种前沿方向,有核武器、超级计算机、国家点火装置,甚至还有二十多种新发现的化学元素。
  于是,资金到位,技术入场,人才云集,但偏偏联盟中的米国光刻机企业svg、ultratech早在80年代就被尼康打得七零八落,根本烂泥扶不上墙。
  本来英特尔想拉来尼康和a斯麦一起入伙,并不想a斯麦一家独大。
  但问题是,这两家公司,一个来自樱花,一个来自何兰,都不是米国本土企业。
  而偏偏,米国政府又将euv技术视为推动本国半导体产业发展的核心技术,并不太希望外国企业参与其中,更何况八十年代在半导体领域压了米国风头的樱花,甚至可以这么说,如今的华国有多想要光刻机,当年的米国就多想要光刻机。
  光刻机又几乎逼近物理学、材料学以及精密制造的极限。
  光源功率要求极高,透镜和反射镜系统也极致精密,还需要真空环境,配套的抗蚀剂和防护膜的良品率也不高。
  别说樱花与何兰,就算是米国,想要一己之力自主突破这项技术,也是痴人说梦。
  米国自然不会想让樱花投诚然后,继续扼住米国半导体咽喉的机会。
  于是在一份提交给国会的报告之中,专家明确指出“尼康可能会将技术转移回樱花,从而彻底消灭米国光刻机产业”。
  樱花是敌人,但何兰还是有可能发展成自家的“漂亮国好同志”。
  当得到这个消息,何兰a斯麦,第一时间就表示了自己诚意,同意在米国建立一所工厂和一个研发中心,以此满足所有米国本土的产能需求。另外,还保证55%的零部件均从米国供应商处采购,并接受定期审查。
  这就是为什么米国能禁止何兰的光刻机出口华国,一切的原因都始于此时。
  一见小弟这么给力,米国那边直接不要脸了,
  开启了更为厉害的骚操作。
  广场协议,樱米半导体协议,直接加增100%的关税等等一系列损招全都用了出来。
  可樱花只能含泪,牙齿掉了往肚里咽,全都答应了下来,没办法,自家老窝都在别人的炮管之下,那有它蹦跶的份,不过这也让樱花心里其实是憋了一口老血想喷的。
  最终,米国能源部和a斯麦达成了协议,允许其加入euvllc,共同参与开发,共享研究成果。
  之后的六年,euvllc的研发人员发表了数百篇论文,大幅推进了euv技术的研究进展,割地求和的a斯麦虽然只是其中的小角色,但也有机会分得一杯羹。
  分享技术只是一方面,收购走后门其实也是米国送给a斯麦的一份大礼。
  之后米国的cymer公司研发出euv所需的大功率光源,成为a斯麦的供应商,更在四年后以25亿美元高价直接被阿斯麦并购。
  别忘了,这可是光刻机的核心零件,这样顶尖的技术,全球范围也不超过三家。
  毫不夸张的说,a斯麦虽然是一家何兰企业,但崛起的背后,其实是一场地地道道的米国式成功。
  错而失euv关上了尼康光刻机的大门,加上诸多盟友的背叛则彻底焊死了尼康想要突围的出路。
  说实话,当年的英特尔为了防止核心设备供应商一家独大,其实还是挺想带着尼康一起玩的。
  32nm工艺制程时甚至独家采用尼康的光刻机,而之前的45nm,之后的22nm,也都是尼康和a斯麦同时供货。就连在2010年的lithovision大会上,英特尔还宣布将一直沿用193nm沉浸式光刻至11nm节点。
  但备胎终究是备胎,一转身,英特尔就为了延续摩尔定律的节奏,巨资入股a斯麦,顺带将euv技术托付。
  另一边,相比一步步集成了全球制造业精华的a斯麦,早年间就习惯单打独斗的n康在遭遇米国封锁后,更是一步步落后,先进设备技术跟不上且不提,就连落后设备的制造效率也迟迟提不上来。
  当年,相同制程,a斯麦宣称“每小时可加工175~200片晶圆”,而尼康的数据是“每小时200片”。
  但果真如此吗?这背后涉及到了一个叫做稼动率的制造业名词。简单理解为一台机器设备实际的生产数量与可能的生产数量的比值。
  使用a斯麦的设备,三星与台积电的稼动率常年维持在95%上下.
  而这边尼康,被迫自研,什么零件都要自己做,但什么东西却总有是差点意思。
  导致同一批次的相同设备,每一台的性能都不尽相同。
  简单来说,就像买了二十台手机,这台只能发微信,那台只能刷视频,另一台开网页……
  设备虽便宜,但稼动率最多只能达到50%左右,对晶元代工厂来说,实在不划算。
  因此,英特尔新ceo上任后,立刻抛弃了尼康,甚至后来就连大陆的芯片代工厂都看不上n康的光刻机,就可想而知,n康的发展有多么的没落,最终n康只能慢慢退出芯片光刻。
  生产出的设备,只能卖给s星、lg、j东方,用来生产面板。
  这边旧人哭,那边新人笑,2012年,y特尔连同s星和湾积电,三家企业共计投资52.29亿欧元,先后入股a斯麦,以此获得优先供货权,结成紧密的利益共同体。
  站在euvllc的肩膀上,背靠米国支持,又有客户送钱,a斯麦自此正式成为“全村人的希望”,在摘取euv光刻机这颗宝石的道路上,一路孤独的狂奔。
  终于,在2015年,第一台可量产的euv样机正式发布。
  正所谓机器一响,黄金万两,当年只要能抢先拿到机器开工,就相当于直接开动了印钞产线,euv光刻机也因此被冠上了“印钱许可证”的名号。


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